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Czochralski-Verfahren

Czochralski-Verfahren ist das Verfahren zur Herstellung von Silizium-Einkristallen (monokristallines Silizium), bei dem ein Kristall aus der Siliziumschmelze gezogen wird. Unter Zieh- und Drehbewegungen scheidet sich an einem Kristallisationskeim ein zylindrischer Silizium-Einkristall ab. Für die Schmelze werden bereits hochreine polykristalline Siliziumstücke verwendet, denen je nach gewünschter Dotierung des EInkrtistalls hochdotiertes Silizium zugegeben wird.

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